半導體晶圓接觸角測量儀：測量晶圓的親水性，晶圓體是超親水的，一般在10°左右，我們這款設備就是專門針對半導體晶圓來設計的。

產品型號：SDC-500W

更新時間：2025-09-18

廠商性質：生產廠家

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物理特性分析儀器

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產品介紹

半導體行業晶圓接觸角測量儀

半導體晶圓接觸角測量儀

半導體晶圓接觸角測量儀設備規格
設備主機
外形尺寸	900mm（長）×550mm(寬)×730mm(高)
重量	30KG
整機調節	整機水平測試/調節
電源
電壓	100～240VAC
功率	150W
頻率	50/60HZ
空間
平臺尺寸	12in
最大試樣	12in×15mm
樣品臺調節	自動3D移動平臺
	行程160mm，精度0.1mm 360°無極旋轉旋轉精度，0.01°
攝像系統
最大圖像	5000（H）× 4000（V）
最高幀率	200fps（可升級更高幀數）
傳感器	SONY 1/1.8"
光譜	黑白/彩色
ROI	自定義
顯示線寬	自定義
曝光時間	自定義
電源	5 VDC USB 接口
傳輸	USB3 Vision
顯微鏡頭
焦距	200mm±5mm（變焦調節）
倍率	10倍
視角調節	±10°
分辨率標度	4～14um
采集系統調節	俯視/仰視/平視
光源
類型	單波長工業LED（冷光）
波長	470nm
光場	φ50mm
光點	96粒密集式
壽命	50000Hour
注射系統
滴液方式	精密微量注射
控制方式	軟件數字控制
滴液精度	0.01μl
注射器	高精密氣密性注射器
接液方式	精密電機控制
接液高度	智能判定
容量	100μl/500μl/1000μl(標配500μl)
針頭	0.51mm全不銹鋼超疏水針頭(標配)
速度	1μL/min ～2000μL/min
軟件
接觸角范圍	0～180°
分辨率	0.01°
全自動測量	全自動一鍵測量功能（可編程測試點位，多點自動測量）
最大數據量	一鍵分析12in晶圓>100個數值
形態譜圖	2D形態數據譜圖
接觸角測量方式	全自動、半自動、手動
分析方式	懸滴法、停滴法（2/3態）、氣泡捕獲法、座滴法、座針法、插板法
分析方法	靜態分析、自動增液縮液動態分析、潤濕動態分析、實時分析、雙邊分析、前進后退角分析
測試方法	圓法、橢圓/斜橢圓法、微分圓/微分橢圓法、Young-lapalace、寬高法、切線法、區間法
表/界面張力測試
測試范圍	0～3000mN/m
分辨率	0.01 mN/m
張力測量方式	全自動
分析方式	氣泡捕獲法、懸滴法、實時譜圖
表面自由能
測試方法	Zisman、OWRK、WU、WU 2、Fowkes、Antonow、Berthelot、EOS、粘附功、浸濕功、鋪展系數
數據處理
輸出方式	自動生成，可導出/打印EXCEL、Word、譜圖等多種報告格式